寄生模型的7nm, 10nm节点接收IMTAB节点
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这些新模型将使寄生提取工具能够准确捕捉影响时间和可靠性分析的硅变化。
Synopsys公司发布了ITF的开源授权互连技术格式(ITF)扩展，该格式可以对先进10nm和7nm制程节点的器件结构和互连层之间的复杂寄生效应进行额外建模。该公司表示，这些新模型将使寄生提取工具能够准确捕捉影响时间和可靠性分析的硅变化。
Synopsys与IEEE-ISTO联盟成员项目互连建模技术咨询委员会(IMTAB)的成员合作，改进并批准了这些新的扩展。它们可以通过开源许可在Synopsys ITF 2016版中获得。
Synopsys提取解决方案工程副总裁、IMTAB主席Bari Biswas表示:“应对10nm及以下工艺节点日益增加的变化和复杂性，需要持续的建模创新，并提供可用的标准，以促进更容易的采用。”“与IMTAB成员和领先的代工厂合作，Synopsys通过更新和扩展模型来丰富ITF格式，以支持先进的多颜色图案和3D FinFET设备的效果，同时确保简单性，实现高效的实现和部署，从而又向前迈出了一大步。”
新的imtab批准的ITF扩展包括:
- 门到扩散器件的寄生建模增强，在10nm/7nm所需的精度
- 色彩感知厚度变化扩展为三色和四色图案
- 增强CMP效应模型的密度感知厚度变化改进
- 基于硅尺寸的硅覆盖电阻，提高精度
- 超低介电介质精确耦合电容提取的介质填充模型